Nanolitografia
Os projetos de pesquísa
desenvolvidos pelo laboratório na área de litografia estão
descritos abaixo:
Desenvolvimento
de um processo de transferência de um padrão macroscópico
para a escala microscópica usando a técnica de nanolitografia.
Este projeto
é composto das etapas de caracterização tribológica
dos polímeros candidatos a serem utilizados como máscara
do processo de litografia feito por AFM e do desenvolvimento de um programa
de computador, usando a linguagem C, para a automação
do processo de transferência de padrão para escala micrométrica
por AFM.
