LINHAS DE PESQUISA


1) Filmes de carbono amorfo hidrogenado depositados por PECVD:

Estudo da incorporação de flúor em filmes de a-C:H e a-C:N:H
Pretendemos estabelecer as melhores condições para a obtenção de revestimentos de carbono amorfo fluorado com as adequadas propriedades mecânicas e tribológicas, procurando associar as excelentes propriedades mecânicas de filmes de carbono amorfo hidrogenado com as conhecidas propriedades anti-adesivas de carbonos fluorados.

Estudo da diluição de gases nobres na deposição de filmes de a-C:H
Nesta linha de atuação pretendemos estabelecer as condições para a formação de nanocristais de diamantes em filmes de carbono amorfo hidrogenados depositados por rf-PECVD em plasma de metano altamente diluídos em gases nobres.

Estudo do mecanismo de formação de filmes de a-C:H e suas ligas
Nesta atividade pretendemos verificar a importância do mecanismo de subimplantação para a formação de filmes de a-C:H e suas ligas, a-C:H:N e a-C:H:F, depositados por rf-PECVD.

2) Filmes de fullerenos:

Estamos estudando as condições para a deposição de filmes ordenados de fullerenos em diferentes substratos, mica, silício e grafite, de modo a que possam ser usados em experiências de nanomanipulação e nanotribologia.

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